Kathodenzerstäubung

Sputtern

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Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 = Katodenzerstäubung

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Kathodenzerstäubung,

 

das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Da sich die herausgeschlagenen Atome auf nahen Gegenständen niederschlagen, lässt sich die Kathodenzerstäubung in der Beschichtungstechnik durch Zerstäubung von Silber- oder Platinkathoden zur Herstellung von Metallüberzügen (Spiegel) verwenden. Bedeutung hat die Kathodenzerstäubung v. a. für die Zerstäubung von Stoffen, die sich durch Erhitzung nicht verdampfen lassen; dabei werden Edelgasatome (meist Argon) nach der Evakuierung des Reaktionsgefäßes (10^-7 bar) ionisiert und elektrisch beschleunigt (rd. 10 kV) auf den zu verdampfenden Stoff geschossen. Platin, Silber u. a. Metalle lassen sich leicht, Aluminium, Chrom u. a. dagegen schwer zerstäuben (Letztere werden daher vorzugsweise als Kathodenmaterial verwendet, wenn eine Kathodenzerstäubung unerwünscht ist). Die Metallatome können aber auch mit dem Restgas chemisch reagieren, sodass bestimmte Verbindungen entstehen und niedergeschlagen werden. So lassen sich Schichten aus halbleitenden oder dielektrischen Substanzen (z. B. Oxiden) herstellen.

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Ka|tho|den|zer|stäu|bung, die: Bildung feinster Schichten von Metall auf der Anode durch Atome, die sich von der Kathode im Hochvakuum gelöst haben.